六氟化硫（SF6）是一種無色、不燒的氣體，具有優(yōu)異的絕緣性能和化學(xué)穩(wěn)定性。它在大氣中的分解溫度高達(dá)400℃，且在高溫下也不會發(fā)生氧化反應(yīng)[1]。因此被廣泛應(yīng)用于高壓電器設(shè)備和電力系統(tǒng)的滅弧與絕緣中2-33。
然而隨著大量使用SF氣體對環(huán)境造成的影響越來越受到關(guān)注,對其替代品的研發(fā)已成為當(dāng)前亟待解決的問題之一5.7此外由于其在地質(zhì)環(huán)境中具有較強(qiáng)的吸附能力使其一旦釋放到大氣中將產(chǎn)生長期的生態(tài)效應(yīng)89，其對生物酶的活性有抑制作用是二嗯英的前驅(qū)物質(zhì),還對人體健康有害是名副其實的環(huán)境。
高純氦氣是由99.8%的惰性氣體和0.2的高沸點雜質(zhì)組成。這種氣流經(jīng)過特殊設(shè)備，用化學(xué)的方法除去其中的水、二氧化碳等對人體有害的氣體后可得到高達(dá)7個九（即99．
９％）以上的超高清潔度標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)用的性質(zhì)穩(wěn)定的大分子團(tuán)單原子氣體；其主要用途是作為新一代超潔凈顯示技術(shù)和半導(dǎo)體工藝中的新型熱沉基質(zhì)材料和高精度光學(xué)透鏡材料的成份充填物以及用于低速冷凍機(jī)及手術(shù)制冷等領(lǐng)域。
高純甲烷是一種無色、無味、無毒的氣體，它是由一個甲烷分子組成的，這個甲烷分子由一個碳原子和四個氫原子組成。它的相對分子質(zhì)量為28.01，它的沸點為-164.14°C，它的密度為0.714克/立方厘米。高純甲烷在常溫常壓下是一種穩(wěn)定的氣體，它不易溶于水、液氨或其他中，但它能與空氣中的氧氣反應(yīng)，從而變成淡黃色。
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